Instrumentasi Modern untuk Analisis Material

Energy disspersive spectroscopy (EDS, EDX, EDXS atau XEDS), kadangkadang disebut energy disspersive X-ray analysis (EDXA) atau energy disspersive X-ray microanalysis (EDXMA), adalah teknik analisis yang digunakan untuk analisis unsur atau karakterisasi kimia suatu sampel. Hal ini bergantung pada interaksi berkas elektron (e-bearn) dan sampel dalam instrumen Scanning Electron Microscope (SEM). K…